本课程将解决传统的<微电子器件>课程教学内容与实际产业发展严重脱节的瓶颈,融合<微电子器件>中的半导体器件理论和<微电子工艺>课程中的先进制造工艺知识,揭示现代先进半导体器件的发展路径。本课程将主要包含半导体器件理论指导下的先进工艺开发和先进工艺中的理论基础两方面进行知识讲授。
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